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電子半導(dǎo)體、太陽(yáng)能產(chǎn)線廢氣處理系統(tǒng)
工藝介紹
Scheme  introduction

電子半導(dǎo)體產(chǎn)線工藝廢氣治理


1、PECVD工藝廢氣


PECVD設(shè)備尾氣主要包含硅烷SiH4及氨氣NH3等。


處理工藝:不銹鋼燃燒筒→不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔-氨氣洗滌塔+離心風(fēng)機(jī)


主要特點(diǎn):硅烷去除率高,氨氣及其他水溶性氣體凈化率高,占地面積小,耐腐蝕,便于維修。


2.絲網(wǎng)印刷工藝廢氣


絲網(wǎng)印刷廢氣工藝主要涉及的主要設(shè)備印刷機(jī)和燒結(jié)爐,產(chǎn)生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機(jī)廢氣及熱廢氣。


處理工藝:采用活性炭纖維吸附塔。


主要特點(diǎn):設(shè)備占地面積小,耐腐蝕,便于維修,無(wú)二次污染,凈化效率較活性炭顆粒較高。


設(shè)備主要特點(diǎn):洗滌塔采用酸/堿洗滌、水洗一體塔+活性炭吸附進(jìn)行廢氣凈化處理,自動(dòng)化控制,達(dá)標(biāo)排放,占地面積少、控制操作簡(jiǎn)單方便,處理效果佳、維護(hù)成本低。


干化等工藝產(chǎn)生的臭氣采用酸堿洗滌吸收、生物除臭、光催化氧化、活性炭吸附等工藝處理,達(dá)標(biāo)排放。


太陽(yáng)能電池片工藝廢氣治理


1、制絨工藝廢氣


在制絨工藝過(guò)程中,廢氣源主要為制絨機(jī),廢氣種類因工藝不同而有區(qū)別,一般主要廢氣為:制絨氫氧化鈉NaOH、KOH廢氣比較多一點(diǎn) ,多晶制絨氮氧化物NOX比較多一點(diǎn),還有少量HF等廢氣。


處理工藝:

氮氧化物濃度較高的采用四級(jí)串聯(lián)高濃度酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉、硫化鈉進(jìn)行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級(jí)串聯(lián)酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉進(jìn)行洗滌處理。


主要特點(diǎn):

凈化效率高,結(jié)構(gòu)緊湊,耐腐蝕,耐老化性能好,自動(dòng)化控制,操作簡(jiǎn)單 ,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。


2、擴(kuò)散工藝廢氣、去磷硅玻璃、刻蝕工藝廢氣


擴(kuò)散工藝涉及的設(shè)備主要是:擴(kuò)散爐,其中酸性廢氣為鹽酸霧HCl及少量氯氣Cl2。去磷硅玻璃、刻蝕工藝涉及的主要設(shè)備為刻蝕機(jī)、硅片清洗機(jī)等,產(chǎn)生主要酸性廢氣為HF、CF4、SiF4等,采用酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉進(jìn)行洗滌處理。


主要特點(diǎn):

凈化效率高,結(jié)構(gòu)緊湊,耐腐蝕 ,耐老化性能好,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。




工程案例
applicationcase



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